金额1.1亿元 一台光刻机成功中标：分辨率低于110nm

国产光刻机的发展牵动着很多人的心，每一个进展都很容易成为焦点，今天采购网站上赫然出现了上海微电子中标光刻机的消息。

在中国政府采购网上，编号zycgr22011903的采购公告中提到科技部以单一来源方式采购了一台步进扫描式光刻机，中标金额约1.099亿元，中标方是上海微电子公司，货物型号为SSC800/10。

截至发稿时，这个中标公告还在，但详情页已经无法打开了。

上海微电子的SSC800型号之前没有公布过，有印象的网友还记得前两年网上流传过SSA800的型号，号称是一台28nm光刻机，SSC800的型号跟这个系列有可能是同代技术产品。

不过严格来说28nm光刻机的说法是错误的，至少是不准确的，光刻机一次曝光的分辨率没有这么高，SSC800也是110nm，套刻精度15nm。

2024年9月份，工信部公布过《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，提到的氟化氩光刻机有2种，光源都是193纳米，但是浸润式的型号分辨率≤65nm，套刻≤8nm，干法型号分辨率≤110nm，套刻精度≤25nm。

这次上海微电子中标的型号应该属于干法光刻机，还不是大家预期中那种非常厉害的产品。