国产首台！凌光红外激光诱导电阻变化显微镜发布

据“凌光红外”公众号发文，凌光红外正式推出商用激光诱导电阻变化检测设备（LaserSight系列），标志着国产电性失效分析设备在Thermal/EMMI/OBIRCH（TIVA）三大主流技术方向上实现全线贯通。

OBIRCH（激光诱导电阻变化技术），与热发射、光发射并列为电性失效分析领域的三大标准定位方法。

该技术通过激光束扫描检测因电阻变化反映的电路内部缺陷，常用于定位金属互联故障、短路等电性失效问题。

自1997年日本公司推出首台商用设备以来，OBIRCH技术及相关设备长期被少数国外厂商垄断。其中，日本H公司与美国F公司占据超过80%的市场份额，使该设备成为国内半导体分析领域典型的“卡脖子”环节。

此次凌光红外发布的LaserSight系列，首次实现了国产激光诱导电阻变化定位设备的自主供应。

截至2025年12月，该系列已完成多台交付并稳定运行，性能对标国际旗舰产品。

LaserSight系列适用于金属互联缺陷、金属/半导体短路等典型分析场景，可广泛应用于集成电路、功率器件及光电器件等领域的失效定位，为国内半导体产业提供了又一关键环节的国产化检测支持。