国际首次，长三角联合攻关突破 8 英寸 VB 法氧化镓单晶制备技术

12 月 27 日，在上海市科委第四代半导体战略前沿专项支持下，中国科学院上海光机所（以下简称“上海光机所”）联合杭州富加镓业科技有限公司（以下简称“富加镓业”），在国际上首次采用垂直布里奇曼法（VB 法）制备出 8 英寸氧化镓晶体。

氧化镓是第四代半导体领域代表性材料，因禁带宽度大、击穿场强高，在超高压功率器件领域具有重要应用价值。

上海光机所作为国内较早从事氧化镓晶体研究的单位，在 VB 法方面，联合富加镓业大力发展提升关键装备制造、高精度模拟仿真、确定性热场设计三大核心技术。2024 年 7 月在国内首次实现 3 英寸晶体制备，2024 年 12 月成功制备 4 英寸晶体，2025 年 9 月在国内首次实现 6 英寸晶体制备，2025 年 12 月刷新国际 VB 法制备氧化镓晶体的最大尺寸纪录。

与其他方法相比，VB 法在制备氧化镓晶体方面具有多项显著优势，是实现大规模产业化的理想路径：生长过程无需使用铱金，大大降低生长成本；生长过程温度场均匀、温度梯度小，更易实现大尺寸、高质量氧化镓晶体的生长；可生长柱状晶体，有效提升材料制备效率；生长过程稳定，更适合自动、规模化生产。

下一步，上海光机所、富加镓业将会同下游用户加快开展器件端对材料端的应用验证，持续迭代氧化镓材料及器件性能，全力推动氧化镓产业化应用。