院士团队领衔 国产首台28nm关键尺寸电子束量测量产设备出机

来自无锡高新区管委会的公告显示，今天国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在锡成功出机。

次出机的28纳米关键尺寸电子束量测量产设备，由无锡亘芯悦科技有限公司自主研制，在电子光学系统、运动平台、电子电路和软件等方向实现了完全自研，能有效解决我国半导体量检测领域关键核心难题，对于填补我国集成电路产业关键环节空白、提高国产芯片高端装备自主可控水平具有里程碑意义。

据了解，电子束晶圆量检测设备是芯片制造领域除光刻机外，技术难度最大、重要程度最高的设备之一。

CD-SEM（关键尺寸量测设备）主要是通过对于关键尺寸的采样测量，实现对IC制造过程中，光刻工艺后所形成图形尺寸进行监控，以确保良率。

官网显示，无锡亘芯悦科技有限公司于2022年在无锡高新区微纳园注册成立，由中国工程院院士丁文江、中国科学院院士张泽以及国际知名工程技术专家和上市公司创始人共同发起，专注于研发、制造和生产半导体前道量测与检测设备。

公司自落地无锡高新区以来，在研项目始终保持较高水平的研发投入，目前公司多款前道量测与检测产品已进入关键性能优化和市场推广阶段。

该公司提供全系列半导体关键尺寸扫描电子显微镜 (CD-SEM) 产品，满足不同半导体制造工艺的量测需求， 从研发到大规模生产，为您提供精准、高效的工艺控制解决方案。