全球首个纳米级微振动实验室在雄安投运，可测试大型半导体设备

3 月 31 日消息，国家开发投资集团有限公司（以下简称“国投集团”）旗下中国电子工程设计院股份有限公司（简称“中国电子院”）自主研发建设的纳米级微振动实验室，近日在河北雄安新区正式投运。该实验室被认定为全球首个纳米级微振动实验室，标志着我国在精密装备微振动环境控制领域取得重要技术突破。

此次投运的纳米级微振动实验室，核心装置是一台由我国自主研发、全球尺寸最大且精度最高的微振动模拟实验台。

该实验台平面尺寸达 4 米 ×4 米，台体自重约 50 吨，设计承载能力高达 20 吨，能够满足大型半导体设备整机及卫星全尺寸载荷的高精度测试需求，这在全球范围内尚属首次。

在隔振技术方面，实验台采用了空气弹簧主动隔振系统，能够高效隔离来自周围地基及建筑结构的环境振动干扰，经实测验证可将环境振动降低两到三个 VC 等级，在实验台面上营造出极为纯净的微振动环境。

在激振技术方面，实验台配备了高精度直线电机作动器，可在 0.5Hz 至 100Hz 的宽频率范围内，实现 0.001Gal 至 5Gal 的加速度精密输出，能够模拟极其微弱的背景环境振动。

在实验模式方面，该振动台具备丰富的波形模拟能力，可进行正弦波、随机波和扫频波在单个方向上的精确模拟以及三个方向上的同步模拟，既能开展针对特定频率成分的精细化分析，也能还原复杂真实环境下多自由度耦合的随机振动场景。

该实验室的建成投用，填补了我国在微振动试验方法、精密设备振动容许标准、隔振装置评价体系以及第三方试验服务等多个环节的技术与市场空白，为半导体与航天两大国家级战略产业开辟了全新的实验验证通道。

在半导体领域，实验室能够为光刻机、刻蚀机、量测设备等核心生产装备提供标准化的微振动环境评估服务，帮助设备厂商在研发阶段精确掌握产品的振动敏感特性，优化结构设计与隔振方案，从而加速国产半导体设备的成熟与量产进程。

在航天领域，实验室可为高分辨率遥感卫星提供地面微振动环境模拟，复现星上微振动源对光学载荷的影响机理，同时为低轨互联网卫星星座的批量化研制提供高效的地面验证平台，支撑卫星快速组网的国家安全需要。

此次纳米级微振动实验室的投运，是国投集团紧扣雄安新区“5+6”产业发展方向，在先进电子制造领域布局的国家级科技创新平台。中国电子院依托其在微振动环境控制领域数十年积累的科研及工程化经验，在雄安新区完成了从工程实践到基础实验能力的跨越。下一步，国投集团将依托该实验室在先进电子制造与微振动控制核心技术领域的深厚积累，推动更多科创成果在雄安转化落地，助力雄安培育新兴产业集群、发展新质生产力。